三氧化碳是一种极不稳定的碳氧化合物。碳是负4价、正二价、正四价中任意一个，而氧一般是负二价。三氧则为负六价，无法与碳构成稳定的化合物。三氧化碳可通过将臭氧通过干来来制取。三氧化碳能够在负极电晕放电的漂移区域通过二氧化碳与在等离子区获得电子的氧分子所放出的氧原子反应制得。